Massmeter flowmeter menggunakan pengukuran terma, mengukur aliran melalui mengukur jisim molekul yang diambil. Kerana pengukuran terma, hasilnya tidak akan dipengaruhi oleh perubahan suhu dan tekanan gas. Sebagai alat pengukur aliran yang tepat, cepat, boleh dipercayai, cekap, stabil dan fleksibel, alat pengukur aliran massa akan digunakan secara meluas dalam bidang pemprosesan petroleum dan industri kimia. Ini memiliki potensi besar dalam mempromosikan pengukuran aliran. Meter aliran massa tidak dapat mengawal aliran, tetapi mengesan aliran jisim cecair atau gas, dengan output nilai aliran melalui voltan analog, arus atau komunikasi bersiri.
Walau bagaimanapun, pengawal aliran massa adalah instrumen yang dapat mengesan, sekaligus mengawal aliran. Pengawal aliran massa itu sendiri mempunyai injap pengatur elektromagnetik atau injap piezoelektrik selain bahagian pengukuran, sehingga terbentuk sistem gelung tertutup yang memungkinkannya untuk mengawal aliran massa. Nilai set pengawal aliran jisim dapat disediakan oleh voltan analog, arus analog, atau komputer dan PLC.
Flowmeter jisim termal boleh digunakan sebagai meter aliran udara termampat , O2, Ar, N2, CO2, He （helium flow flowmeter gas ， meter aliran gas CO2, meter aliran biogas dan sebagainya.
