Meter aliran jisim termal adalah sejenis meter aliran udara atau udara termampat dengan unit aliran CFM.
Sebilangan besar meter aliran untuk mendapatkan kadar aliran jisim udara termampat perlu mengukur jisim aliran dan memerlukan alat tambahan untuk mengukur tekanan dan suhu, sehingga aliran massa dan ketumpatan dapat dikira.
Walau bagaimanapun, meter aliran udara jisim termal secara langsung mengukur aliran jisim udara. Oleh itu ia tidak dipengaruhi oleh perubahan suhu dan tekanan. Oleh itu, meter aliran jisim memberikan bacaan yang lebih tepat, boleh dipercayai dan berulang daripada meter lain. Ia juga mempunyai jarak jangkauan yang lebih banyak daripada meter aliran lain.