Meter aliran SCCM mengukur aliran gas dalam jumlah yang kecil dan pada tekanan rendah. Ia penting dalam industri seperti membuat cip komputer yang mengawal aliran gas adalah sangat penting untuk kerja seperti meletakkan bahan kimia pada cip, membuat reka bentuk atau membersihkan dengan gas.

Satu jenis meter aliran SCCM dipanggil Meter Aliran Jisim Termal mikro. Ia berfungsi dengan melihat bagaimana gas menyejukkan penderia panas. Semakin sejuk, semakin laju gas mengalir.

Meter aliran SCCM perlu betul-betul tepat, sensitif dan pandai mengendalikan aliran gas yang kecil. Ini sangat penting di tempat yang sedikit perubahan dalam aliran gas boleh mengacaukan pembuatan, seperti cip komputer atau ubat.

Jadi, meter aliran SCCM adalah alat yang sangat penting untuk memastikan semuanya berjalan lancar dalam industri yang memerlukan kawalan aliran gas yang tepat. Mereka memastikan perkara kekal betul, walaupun semasa bekerja dengan sejumlah kecil gas.